werden immer größer. Pressemitteilung von Aixtron
Universität Santa Clara erhält neue AIXTRON CVD-Anlage für Kohlenstoff-Nanostrukturen
Aachen, 8. Januar 2008 – AIXTRON AG hat eine 6 Zoll AIXTRON-Nanoinstruments CNT*-Anlage erfolgreich bei der Universität Santa Clara in Kalifornien, USA installiert. Mit diesem neuen plasmagestützten und thermischen CVD**-System werden PC-Bus-Verbindungen und thermische Schnittstellen auf Basis von Kohlenstoff-Nanoröhren entwickelt. Die Anlage steht im Center for Nanostructures (CNS) Labor des NASA Ames Forschungszentrums in Moffet Field, Kalifornien.
Professor Cary Yang, Direktor des CNS, erklärt: „Wir haben uns für eine AIXTRON-Nanoinstruments-Anlage entschieden, weil sie bereits von einigen der wichtigsten Forschungsgruppen im Bereich der Carbon Nanotubes für die Elektronik genutzt wird. Zudem hat sich dieser 6 Zoll-Reaktor schon nachweislich bewährt. Damit werden wir in der Lage sein, die für zukünftige integrierte Schaltungen benötigten Kohlenstoff-Nanostrukturen in gleichbleibend guter und kontrollierbarer Qualität herzustellen.“
AIXTRON ist weltweit führender Anbieter von Depositionsanlagen (Chemical Vapor Deposition/CVD, Atomic Vapor Deposition/AVD und Atomic Layer Deposition/ALD) für die Halbleiterindustrie. Bis heute hat AIXTRON insgesamt über 1.500 Anlagen weltweit ausgeliefert. Mit dem neuen Technologiebereich AIXTRON-Nanoinstruments hat AIXTRON nun auch plasmagestützte CVD-Anlagen für die Produktion von Kohlenstoff-Nanoröhren und ähnlichen Nanomaterialien in sein Produktportfolio aufgenommen. Dieses viel versprechende CNT-Material wird zukünftig voraussichtlich vermehrt in optischen und elektronischen Bauelementen und Anwendungen zum Einsatz kommen. Derzeit testen viele Forschungsgruppen dessen Eigenschaften in flachen Displays, Kühlkörpern, Chips, Sensoren oder als Elektronenquelle.
* CNT, Carbon Nanotubes = Kohlenstoff-Nanoröhren ** CVD, Chemical Vapor Deposition = Gasphasenabscheidung
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