Keine Angaben welchen Umsatzbeitrag die Metrologiesysteme generieren. Es wird auch keine Meldung mehr verbreitete wie es mit dem Auftrag aus China aussieht, wieviel wurde dafür schon produziert, wie ist der aktuelle Stand mit der Auslieferung der Anlagen usw. Es wurde sehr ruhig um Tepla. So wird Tepla nicht aus dem Abwärtstrend rauskommen.
EQS-News: Neues Metrologiesystem zur Überwachung von Implant Prozessen bei weiterem Key Account Kunden erfolgreich
11:01 09.11.05
EQS-News: [PVA TePla AG] Neues Metrologiesystem zur Überwachung von Implant Prozessen bei weiterem Key Account Kunden erfolgreich
PVA TePla AG / Produkteinführung
09.11.2005
Corporate-Mitteilung übermittelt durch die EquityStory AG. Für den Inhalt der Mitteilung ist der Emittent verantwortlich. --------------------------------------------------
Feldkirchen/Jena, 09. November 2005: Das neukonzipierte Metrologiesystem TWIN SC4 des Geschäftsbereichs Plasma Systeme setzt sich im Halbleitermarkt durch. Sony hat inzwischen drei Geräte im Einsatz; mit Toshiba hat sich ein weiterer Weltkonzern in der Chip-Herstellung für das innovative TWIN System zur Prozessüberwachung bei Ionen Implantationen entschieden. Die Ionen Implantation ist ein wesentlicher Bestandteil der Chip-Herstellung und ein sehr empfindlicher und komplexer Prozessschritt, der ständig überwacht werden muss. Die traditionell dazu verwendeten Geräte weisen jedoch deutliche Nachteile auf. Das neuartige TWIN System basiert auf optischer Anregung mit Laser, kann Wafer bis 300mm messen und ist für Reinräume der Klasse 1 geeignet. Durch die eingesetzte Doppelmodulationstechnik wird die Frequenz und Intensität des Laserlichts variiert und optimal auf das jeweilige Implantationsrezept angepasst, womit die Empfindlichkeit der Messung weiter gesteigert wird. Das benutzerfreundliche TWIN System bietet Datenausgabe als 3D-Grafiken für Gleichmäßigkeit, tägliche und wöchentliche Überwa-chungskurven sowie Dosis-Korrelation mit polynomischer Kurvenangleichung der höheren Ordnung. Die vollautomatische Beladung, ein Bilderkennungsmodul für die Messung auf Produktwafern, Leser für Los- und Wafernummern sowie ein Kommunikationspaket für Hostrechner des SECS GEM 300 Standards sind optional verfügbar.
Über PVA TePla
Die PVA TePla AG ist ein seit Jahrzehnten etablierter Anbieter für Systeme und Anlagen zur umweltfreundlichen Erzeugung und Bear-beitung hochwertiger Industrie-Werkstoffe. Der Vakuum-Spezialist für Hochtemperatur und Plasma ist im Weltmarkt führend bei Hartmetall-Sinteranlagen, Kristallzuchtanlagen sowie Anlagen zur Oberflächenaktivierung mittels Plasma. Mit ihren Systemen und Dienstleistungen unterstützt PVA TePla wesentliche Prozesse von Industrieunternehmen, insbesondere in der Metall-, Keramik-, Kunststoff-, Halbleiter-, Hartmetall- und Elektro/Elektronikindustrie, aber auch Forschungs- und Entwicklungseinrichtungen, die sich mit Materialtechnologien befassen. Darüber hinaus bietet das Unternehmen innovative Komponenten und Lösungen für die Reinigung von Frischwasser, Abwasser sowie von Oberflächen durch UV-C-Strahlung. Seit dem 21. Juni 1999 werden die Aktien des Unternehmens an der Frankfurter Wertpapierbörse gehandelt, seit dem 1. Januar 2003 notiert die Aktie im Börsensegment Prime Standard (ISIN DE0007461006, Reuters TPEG).
Kontakt: PVA TePla AG Peter Banholzer Tel.: ++(0)6441 / 5692-342 Fax: ++(0)6441 / 5692-111 e-Mail: peter.banholzer@pvatepla.com Internet: www.pvatepla.com
EquityStory AG 09.11.2005 --------------------------------------------------
Sprache: Deutsch Emittent: PVA TePla AG Emmeliusstr. 33 35614 Asslar Deutschland Telefon: +49 (0)89 905 03-106 Fax: +49 (0)89 905 03-147 Email: ir@pvatepla.com WWW: www.pvatepla.com ISIN: DE0007461006 WKN: 746100 Indizes: CDAX, PRIMEALL, TECALLSHARE, GEX Börsen: Geregelter Markt in Frankfurt; Freiverkehr in Berlin-Bremen, Hannover, Düsseldorf, Hamburg, Stuttgart
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EQS-News: [PVA TePla AG] New Metrology System for Monitoring Ion Implant Process successful at another Key Account
PVA TePla AG / Product Launch
09.11.2005
Corporate-announcement transmitted by EquityStory AG. The issuer is solely responsible for the content of this announcement. --------------------------------------------------
Feldkirchen/Jena, 09. November 2005: The newly designed Metrology system TWIN SC4 of the Plasma Systems Division prevails in the semiconductor market. Sony is already operating 3 systems while Toshiba as another worldwide account decided to use the innovative TWIN System for implant process monitoring in their chip production. Ion Implantation is a very important process step within the manu-facturing of integrated circuits (computer chips) as it is very sensitive utilizing rather complex equipment. Hence constant monitoring of implant results is a must to ensure product quality, where the traditionally used systems are at disadvantage. The novel TWIN System utilizes a laser based measurement, measuring wafers up to 300mm with design for state-of-the-art class 1 clean rooms. The implemented double-modulation technique allows variation of excitation frequency as well as intensity of the laser optimising the measurement for each of the many Implant recipe greatly improving the sensitivity and reliability of the results. The user friendly TWIN system offers Output data as 3d graphics for implant uniformity as well as daily and weekly performance monitoring and tracing of trends. In addition it offers dose correlation using polynomic curve fitting. It features fully automatic loading, pattern recognition for measurement on production wafers and a communication package for factory automation communication according to SECS GEM 300 Standards. Bar code readers for wafer and lot ID are optionally available.
About PVA TePla
For decades already, PVA TePla AG has been an established supplier of plant and systems for eco-friendly production and processing of high-quality industrial materials. As a vacuum specialist for high-temperature and plasma treatment, the company is a leading player on the world market for hard-metal sintering plant, crystal growing facilities and plant for surface activation using plasma. With its systems and services, PVA TePla supports key processes in industrial companies, particularly in the metal, ceramics, plastics, semiconductor, hard metals and electrical/electronics industries, as well as in research and development institutes centred on materials technologies. The company also supplies innovative components and solu-tions for purifying freshwater, wastewater and surfaces by means of UV-C radiation. Shares in the company have been traded on the Frankfurt Stock Exchange since 21 June 1999; the company has been listed in the Prime Standard segment (ISIN DE0007461006, Reuters TPEG) since 1 January 2003.
Contact: PVA TePla AG Peter Banholzer Fon: + 49 (0)6441 / 5692-342 Fax: + 49 (0)6441 / 5692 -111 eMail: peter.banholzer@pvatepla.com Internet: www.pvatepla.com
EquityStory AG 09.11.2005 --------------------------------------------------
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