Centro Nacional de Microelectrónica bestellt AIXTRON 4-Zoll Black Magic-Anlage
Aachen, 1. Dezember 2009 – Das Centro Nacional de Microelectrónica (CNM), ein führendes spanisches Forschungsinstitut mit Sitz in Barcelona, hat im dritten Quartal 2009 eine Black Magic CNT*-Anlage in einer 4-Zoll-Konfiguration bestellt. Die Anlage wird im vierten Quartal 2009 ausgeliefert und durch das AIXTRON-Serviceteam in Betrieb genommen.
Das CNM wird die Black Magic-Anlage zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhren (CNTs) einsetzen, um damit Bio- und Gas-Sensoren, nano-elektromechanische Bauelemente, Feldeffekttransistoren, Rasterkraftmiskroskop-Sonden, energieerzeugende Baulemente, Verbindungsmaterialien mit niedrigem elektrischen Widerstand sowie Wärmeleitmaterialien weiterzuentwickeln. „Wir sind sehr zufrieden mit unserer Wahl, weil wir damit unsere vielfältigen Aktivitäten und geplanten Anwendungen ideal fokussieren können,“ betont Dr. Philippe Godignon vom GAB (Grupo de Aplicaciones Biomédicas), eine Forschungsgruppe am Centro de Investigación Nacional en Red en Bioingeniería, Biomateriales y Nanomedicina (CIBER-BBN). „Die Anlage liefert äußerst flexibles CNT-Wachstum auf unterschiedlichen Substraten und Bauelementen. Durch den breiten Temperaturbereich und plasmagestützte Prozesse können wir sowohl Grundlagenforschung betreiben als auch standardisierte Technologien weiterentwickeln.
Die Black Magic-Anlage wird unsere moderne Ausstattung der Mikro-Nanotechnologie komplettieren: Auf einer 2.500 m2 großen Reinraumfläche sind Anlagen für Elektronenstrahl-, Nano-Imprint- und sog. FIB-Lithographie, Rasterkraftmikroskopie, Öfen zur chemischen Gasphasenabscheidung sowie eine komplette Standard-CMOS-Linie untergebracht. Hier werden zukunftsfähige Mikro- und Nano-Bauelemente für die Biomedizin und Umwelttechnik sowie für die Branchen Nahrungsmittel, Sicherheit, Energie und Transport entwickelt."
*CNT, Carbon Nanotubes = Kohlenstoffnanoröhren
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